国产气体质量流量控制器已全面进入集成电路产业

【导读】3月30日，中芯国际供应商稽核团队一行16人对七星电子气体质量流量控制器进行审核。七星电子气体质量流量控制器产品已通过中芯国际、中微、北方微等公司的产品测试并批量采购，标志着七星电子气体质量流量控制器产品已全面进入集成电路等高端产业，打破了这一领域长期被进口产品占领的局面。
 

质量流量控制器在正常工作时，流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。

目前主要用于锅炉、裂解炉用燃料气质量流量测量控制； 石油化工、采油、火炬气质量流量测量；仪表用空气、工艺空气、氮气等质量流量测量等。

启动会上，七星电子常务副总经理唐飞向到访嘉宾介绍了七星电子的最新发展，中芯国际团队负责人对七星电子取得的成绩表示赞赏，表示七星电子是非常优秀的合作伙伴，希望同七星电子一同提升设备及核心零部件的技术水平。

中芯国际供应商稽核团队现场参观了七星电子MFC研发中心。

目前，中芯国际已成长为中国大陆规模最大、技术水准最高，世界排名第四的晶片代工企业，带动了产业链上下游的技术发展。公司倡导使用国内厂商的设备，随着中芯国际工艺不断演进，设备厂的技术能力得到了显著提高，七星电子作为设备及流量计核心部件供应商，同中芯国际一同肩负起中国半导体快速崛起的责任，实现半导体行业的中国梦。